니콘 반도체 LSI · FPD 검사현미경 [L200N / L200ND] > 반도체 LSI FPD 검사 현미경

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니콘 반도체 LSI · FPD 검사현미경 [L200N / L200ND]

니콘 8인치 반도체 검사 현미경

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제조사	Sciencetown
모델	L200N / L200ND
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상품 상세설명

반도체 LSI/FPD현미경

L200N / L200ND

◈ 개 요

반도체 LSI / FPD 검사 현미경

- 고휘도 반사 투과조명

- 고배율 고해상도 샘플관찰

- 모터라이징 시스템

◈ 특 징

반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경

관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화

FPD / LSI 검사에 최적화된 4가지 타입으로 Line-up 구성

현미경 스테이지 L200N / 200ND 스테이지 -측정거리 : 200 x 200mm (8" x 8") (6인치 / 8인치 웨이퍼 대응) L300 / 300ND스테이지 -측정거리 : 350 x 300mm (14" x 12") (12인치 웨이퍼 대응)
대물렌즈 : CFI60-2 -높은 NA와 긴 작동거리 -1x, 2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x의 다양한 렌즈 -색수차 보정의 향상
환경대응력 및 조작성 향상 12V100W 이상의 밝기를 자랑하는 고휘도 12V50W 할로겐 조명 -12V100W에 비해 약 1/2의 소비전력을 사용하며 동등 이상의 발기 실현 -Free centering 램프하우스 채용으로 램프 교체가 용이 -램프하우스에 Back mirror가 장착, 12V100W 조명 대비 20% 이상의 밝기 구현 -열에 의한 Un-focus 현상 방지
기존 대비 3배의 내구성으로 강화된 정동 리볼버 노즈피스 -대물렌즈 6개 장착가능 -3곳에 센터링 보정 기구부 장착 -편심이 적은 대물렌즈와의 조합으로 저배율~고배율 전환시 센터링 오차가 적어서 사용이 편리 -배율전환시 자동으로 조명이 off되어 산란광에 의한 작업자의 시력 보호 오염에 강한 정전기 방지 코팅 -본체,스테이지, 경통 등에 정전기 방지 코팅 채택 -오염대책 강화 -정전기에 의한시료 손상 방지
최적의 눈높이에서 관찰 가능한 정립 틸팅 3안헤드 -시야수 25mm의 초광시야 타입, 틸팅 각도 30도 -작업자 신장에 맞게 Eye-Level을 조정하여 편안한 관찰이 가능
스테이지 미동핸들 위치 고정 -샘플 관찰위치에 상관없이 미동핸들위치가 바뀌지 않고 조정이 가능하여 조작이 편리 -모든 조작부 위치가 근저해 있어 포커싱 및 스테이지 이동 조작이 편리