1. 특 징
- 고정밀 JANDEL 4-Point Probe Head를 채용하여 정밀도와 내구성 확보.
- Auto Contact으로 Probe 수명과 Sample Damage를 최소화.
- 면저항을 측정하여 비저항, 전도도, 박막두께 등을 간단하게 계산.
- Probe stand와 계측기 일체형으로 Compact하고 사용하기 간편함.
- Sample 정보 입력으로 Correction factor(보정계수)를 자동으로 적용함.
- PC와 전용 Software를 이용하여 측정 Data를 PC로 실시간 전송 및 분석.
2. 상세내역(구성)
- 면저항측정범위 : 1mohm/sq ~ 2Mohm/sq
- 측정단위 : ohm, ohm/sq, ohm.cm & S(두께입력)
- Electronic accuracy : 土0.5% (Precision resistor)
- Sample size : Max 8“ or 140X140mm (중앙1점 자동측정)
- Tester일체형 Compact type
- JANDEL High Precision Miniature 4-Point Probe Head채용
- Auto/Manual 및 Single/Dual 선택가능
- Sample size입력으로 보정계수 자동계산 및 적용
- 온도 보정용 온도센서 내장
- Probe Head를 포함하여 2중 Spring구조로 Contact Load(압력)유지기능
3. 부속물 기구 및 재료
- Data download program(CD or USB메모리)
- Data communication cable
- AIT Reference wafer
- Power cable
- Manual
4. 참고사항
- 제조사가 직접 납품 및 설치 교육
- 보증기간 : 납품 및 설치 완료 후 1년 (소모품 제외)
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