실험·연구 및 정밀 가공 환경에서는 대상물을 안정적으로 고정하면서도 표면 손상을 최소화해야 하는 경우가 있습니다. 

특히 웨이퍼와 같은 평판형 부품이나 광학 부품, 정밀 소재를 다루는 공정에서는 일반적인 클램프 방식보다 진공을 이용한 고정 방식이 적합할 수 있습니다.

이때 활용되는 대표적인 장비가 베큠 플레이트(Vacuum Plate), 진공 플레이트​입니다.

베큠·진공 플레이트란?

진공 플레이트는 플레이트 표면에 형성된 진공 흡착 구조를 이용해 대상물을 고정하는 장비입니다.

대상물과 플레이트 사이의 압력 차이를 이용해 소재를 안정적으로 흡착하기 때문에 별도의 물리적인 클램핑을 최소화하면서 평판형 부품을 고정할 수 있습니다.

특히 광학·반도체·정밀 연구 분야처럼 대상물의 위치와 평탄도를 안정적으로 유지해야 하는 환경에서 활용할 수 있습니다.

^{진공 흡착 방식의 특징}

진공 플레이트를 사용하는 가장 큰 이유는 대상물을 안정적으로 고정하면서 작업 공간을 확보할 수 있다는 점입니다.

일반적인 클램프 방식은 고정 부위가 대상물의 일부를 가리거나 특정 위치에 힘이 집중될 수 있습니다. 

반면 진공 흡착 방식은 플레이트의 흡착 영역을 이용해 대상물을 고정하기 때문에 가공이나 측정 과정에서 대상물의 상부 공간을 비교적 자유롭게 사용할 수 있습니다.

따라서 다음과 같은 작업 환경에서 활용을 고려할 수 있습니다.

-웨이퍼 및 평판형 소재 고정

-광학 부품 및 정밀 부품 고정

-검사 및 측정 공정

-연구·실험용 정밀 지그

-위치 이동 및 정렬이 필요한 작업

-진공 환경을 활용하는 자동화 시스템

-다양한 형태로 구성되는 진공 플레이트

진공 플레이트는 사용하는 대상물과 작업 방식에 따라 형태가 달라질 수 있습니다.

현재 구성된 제품군을 보면 일반적인 진공 플레이트뿐만 아니라 커버 도어 타입, 회전 기능이 적용된 베큠 플레이트, 웨이퍼 홀더, XYZ 방향의 이동과 진공 흡착을 함께 구성한 시스템 등으로 구분됩니다.

1. 일반 베큠 플레이트

평판형 대상물을 진공으로 고정하기 위한 기본적인 형태입니다.

대표적으로 VACUUM PLATE ST-MA-R300-VACUUM과 같은 제품이 있으며, 해당 모델은 홈페이지에 ST-MA-R300-VACUUM 모델로 등록되어 있습니다.

2. 커버 도어 타입 베큠 플레이트

ST-COVERED-VCM5050과 같이 커버 도어 구조를 적용한 형태도 구성할 수 있습니다.

작업 환경이나 대상물의 형태에 따라 일반적인 개방형 플레이트와 다른 구조가 필요한 경우 이러한 제품군을 검토할 수 있습니다.

3. 베큠 회전 플레이트

대상물을 진공으로 고정하면서 회전 방향의 작업이 필요한 경우에는 베큠 회전 플레이트를 활용할 수 있습니다.

홈페이지에는 ST-MA-R300D 모델이 등록되어 있으며, 진공 흡착과 회전 기능을 함께 고려해야 하는 정밀 작업에 적합한 제품군입니다.

4. Wafer Holder

웨이퍼와 같이 규격화된 평판형 소재를 안정적으로 지지하기 위한 제품군도 있습니다.

WHR Series Wafer Holder가 등록되어 있으며, 6인치 웨이퍼용 파일이 함께 제공되는 제품으로 확인됩니다.

진공 플레이트 선택 및 활용 분야

진공 플레이트는 대상물의 크기와 형태, 필요한 움직임, 작업 환경을 고려해 선택해야 합니다. 

단순 고정에는 일반 플레이트를, 회전이나 XYZ 방향 조정이 필요할 때는 해당 기능이 포함된 제품을 고려할 수 있습니다.

주요 활용 분야는 다음과 같습니다.

-반도체·웨이퍼: 평판형 소재의 검사 및 가공

-광학·정밀 부품: 측정, 검사 및 위치 조정

-연구·실험: 실험 장비의 지그 및 고정 장치

-자동화·정밀 이송: 대상물의 위치 이동 및 방향 전환

베큠·진공 플레이트는 진공 흡착을 이용해 대상물을 안정적으로 고정하는 정밀 장비로, 웨이퍼와 평판형 소재부터 광학 및 연구용 부품까지 다양한 대상물에 활용할 수 있습니다.

특히 일반적인 고정 방식과 달리 대상물의 상부 공간을 확보하면서 안정적인 고정을 구현할 수 있다는 점에서 정밀 측정·검사 및 연구 환경에서 활용도가 높습니다.

저희 사이언스타운은 이와 같은 다양한 제품들로만 판매하고 있으니 올바른 제품 선택을 하시길 바랍니다.