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스테이지 구동 방식

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작성자운영자 조회 507회 작성일 22-05-18 16:23

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매뉴얼 (수동) 구동 방식

마이크로 헤드
baglash

1. SPEC : 0~6.5, 0~13, 0~25, 0~50mm
2. 눈금단위 : 0.01mm(10㎛)
3. Pitch : 0.5mm
4. 형태에 따라 끝단부위가 R-type과 Flat-type이 있고 취부형식에 따라 일반적인 삽입방식과 Nut조임 타입이 있다.
마이크로 헤드는 메뉴얼 스테이지에 보편적으로 장착되어서 구동하는 장치이며 보통 1회전에 0.5mm를 이동하며 최소 0.01mm(10㎛)단위로 제어가 가능하다. 구조는 외측 딤블과 내측 딤블로 구성되며 어미자 눈금과 아들자 눈금의 교차 부위를 읽는다.

조정 스크류
baglash

1. SPEC : 0~25, 0~50mm
2. 눈금단위 : 없음
3. Pitch : 1/4-80UNC (pitch:0.32mm)
4. 형태에 따라 끝단부위가 R-type과 Flat-type이 있고 취부형식에 따라 일반적인 삽입방식과 Nut조임 타입이 있다.
조정 스크류는 주로 광학장치에 사용되며 마이크로 헤드처럼 눈금을 필요치 않고, 특정 장치 즉 레이저의 움직이는 방향을 설정하거나 제어할 때 사용된다. pitch는 마이크로 헤드보다 작으나 사용시 움직이는 범위를 눈으로 확인할 수 없음으로 인해 불편함을 느낄수 있다.

조정 스크류
baglash

1. SPEC : 0~13mm
2. 눈금단위 : 0.01mm(10㎛) & 0.0005mm(0.5㎛)
3. Pitch : 0.5mm
4. 형태에 따라 끝단부위가 R-type과 Flat-type이 있고 취부 형식에 따라 일반적인 삽입방식과 Nut조임 타입이 있다.
일반 마이크로미터 헤드와 구조는 동일하나 초기 이동은 10미크론 단위의 조동 마이크로로 움직이고 특정부위에서 미동 핸들을 움직여서 초미세로 이동이 가능하다. 단위는 0.5미크론(0.0005mm) 단위로 제어가 가능하며 읽는 방식은 마이크로미터 헤드와 동일하다.

디지털 마이크로미터 헤드
baglash

1. SPEC : 0~6.5, 0~13, 0~25mm
2. 눈금단위 : 0.001mm(1㎛)
3. Pitch : 0.5mm
4. 형태에 따라 끝단부위가 R-type과 Flat-type이 있고 취부형식에 따라 일반적인 삽입방식과 Nut조임타입이 있다.
마이크로헤드처럼 구형 눈금방식이 아닌 읽는 방식을 전자식 디지털처리 함으로써 읽기 미스를 줄이고 계측시간을 단축할 수 있다.

Rack & Pinion
baglash

1. SPEC : 0~∞(무한길이 제작 가능)
2. 눈금단위 : 0.1mm(100㎛)
3. Pitch : M0.3~∞
4. 재질에 따라 길이를 무한으로 제작이 가능하다
마이크로헤드처럼 구형 눈금방식이 아닌 읽는 방식을 전자식 디지털처리 함으로써 읽기 미스를 줄이고 계측시간을 단축할 수 있다.
하단부위의 랙기어와 구동축의 피니언 나사의 결합으로 작동되며, 빠른 이송과 긴 행정이 필요할 경우에 적용 가능하며, 분진이나 미세진동에도 사용 가능하다.