◎ 해당 제품은 에스티원에서 직접 주문제작 한 제품입니다.
Sample Alignment System [ST-SA-MaskAlign]
Spec.
1) Stage Units XYZR40 / Model No : SSU4-40
- Stage Surface(mm) : Ø40
- Travel Range(mm) : XY : ±6.5 , Z : ±3 / θ360˚ 미조정시 ±5˚
- Load Capacity(kg/f) : 0.8
- Weight(kg) : 0.5
- Applicable Stage : XY-Aixs : SS2-4018L
Z-Axis : SS6H-40
θ-Axis : RDS-40
2) XY-Stage 80X80 / Model No : SS2-80L
- Microhead Position : Left
- Stage Surface(mm) : 80X80
- Stroke (mm) : ±12.5
- Resolution(mm) : 10㎛/division(0.1)
- Travel Guide : Crossed Roller Bearing
- Material : Aluminum
- Load Capacity(Kg/f) : 9.5
- Weight(kg) : 0.92
3) 실체현미경 헤드 / Model No : SZN6745TR
- 배율 : 기본 : 0.67X ~ 45X
- 렌즈 : 기본 : 0.67X ~ 45X
- 경통 : 45˚ 경사, 360˚ 회전헤드
- 안폭조절범위 54~76mm, 디옵터 범위 ±5mm
- 작업 거리 : 기본 100mm
- 카메라 고정용 Cmount 포함
4) 접안렌즈 / Model No : SZEWh10TX22
- 10X/22mm
5) LED 링조명 / Model No : SZEWh10TX22
6) Base PLT 제작
- Base Plate 및 Vacuum Plate 등 가공