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◎ 해당 제품은 에스티원에서 직접 주문제작 한 제품입니다. 

4인치 Mask Alignment System [ST-JFMAL-001] 

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장비 구성

1 Manual Stage 1

- Microhead Position : Center

- Stage Surface(mm) : 100x100

- Stroke(mm) : XY : ±12.5 /  Z : ±12.5 / R : 360º ±5º

- Resolution(mm) : 10㎛/division(0.01)

- Travel Guide : Crossed Roller Bearing

- Material : Aluminum

- Load Capacity(kg/f) : 4

- Weight(kg) : 3.54

2 Manual Stage 2 (VISION)

- Knob Position : Center

- Stage Surface(mm) : 40 X 120

- Stroke(mm) : XYZ ± 50

- Resolution(mm) : 0.1 / Vernier

- Travel Guide : 0.1 / Vernier

- Material : Aluminum

- Load Capacity(kg/f) : 2.5

- Weight(kg) : 1.53

3 Vision Part

줌 스테레오 비전 현미경

- 미세조절 3mm , 동축조명

- 단안, 0.7~4.5X, CTV 0.5x

- 비전현미경 고정 브라켓 [ 높이, 위치 조절 가능 ]

HDMI COMS 카메라

- Sensor : CMOS

- Sensor size : 1 /2.5"

- Pixel Size : 2.2um

4 Mask 4in, Wafer 3inch

가공품

- AL Plate, 특수 노브 외 기타 브라켓

- Lens Bracket, 핸들 외 기타 가공품 포함

구매품

- 에어 호스 / Fitting 외 기타 구매품 포함

5 Z-Axis Fast Moving Jog

가공품

- 핸들 외 기타 가공품 포함

6 X-Axis Fast Moving Jog

가공품

- LM가이드 / 클램프 외 기타 가공품 포함

7 Tilt XY Stage

- Stage Surface(mm) : 100x100

- Stroke(mm) : XY : ±15º

- Resolution(mm) : 0.1º

- Travel Guide : Dovetail Type Worm & Gear

- Material : Aluminum

- Load Capacity(kg/f) : 7

- Weight(kg) : 0.96

- XY 2축 적용

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