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니콘 웨이퍼로더

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제조사 NIKON
브랜드 1EA
모델 NWL200
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  • 니콘 웨이퍼로더
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    니콘 웨이퍼로더

    모델명 : NWL200


    Wafer Loaders for IC Inspection Microscope
    • 반도체 제조 공정에서 두께가 한층 얇아지는 Wafer 대응
    • NWL200 시리즈는 니콘 독자적인 기술
    • 검사 현미경용 Wafer Loader 최초의 100μm 두께 Wafer 이송 가능
    • 차세대 반도체 검사에 맞춘 안정적인 반송을 실현



     Nikon의 독자적인 기술로의 Thin Wafer Loading 
        - Wafer 후공정에서의 Thin Wafer의 수동 Loading 대응  

        - 새로운 흡착 방식을 채용한 NWL Series로 최대 100μm 두께 Wafer 이송이 가능

        - 높은 안전성과 신뢰성으로 Thin Wafer 검사 요구에 최적화    

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    Wafer-Sensing 기능 향상 

       - Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응 

       - NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

       - Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능Wafer-Sensing 기능 향상 

       - Thin Wafer의 경우 Carrier의  검출Sensor의 정밀도가 낮아 ARM이 손상되는 현상을 대응 

       - NWL200 Series는 Wafer Sensor 배치를 최적화

       - Wafer의 왜곡을 정확하게 Cassettes 내에서 형상 검출이 가능

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    뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치         

           - Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상     
          - 정교한 인체 공학 디자인
          - 높은 처리량의 Cycle Time 단축
          - 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )뛰어난 조작성 & 3가지 Mode의 Macro 검사 및 다양한 조명 장치         

           - Wafer-slot 전면에 Display&Button으로 조작성 향상     
          - 정교한 인체 공학 디자인
          - 높은 처리량의 Cycle Time 단축
          - 높은 신뢰성 ( Error의 진단등 전면Display로 확인 가능 )
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    원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

         - 레시피 준비 지원 기능 
         - 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)원격 액세스 도구 및 NWL200 구성

         - 레시피 준비 지원 기능 
         - 장비 유지 보수 (백업 및 검사 Recipe 복원기능)

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