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Nikon Wafer Loader

OST-3000

개  요

Wafer Inspection System OPTISTATION-3000

- 8", 12" Wafer 대응

- Manual Stage & Focus

- Wafer Auto Loading

- 1 Load Port

- Thin Wafer & BOW Wafer 대응

특  징

• 300mm Wafer의 간단하고 빠른 수동 육안 검사

• MACRO / MICRO IMAGE분석에 최적화 된 Digital Camera System을 장착 가능

• R&D 결함 분석을위한 Inline검사 System및 분석 도구로 수익률 증가에 기여

OPTISTATION-3000

New System warped wafers of transfer

        - Warped Wafer 이송 가능

        - Robotic Arm, Wafer의 흡착 기술로 Warped Wafer 이송시 안전성 보장

FOUP Opener

        - BACK End Process에서 Cassettes의 여러 유형을 지원하는 FOUP Opener를 표준으로 제공

        - 자동적 FOUP, FOSB 및 FFO 카세트 등의 다른 유형을 인식

High throughput    

        - 효율적인 전송 시퀀스를 채택하여 Cycle Time 단축

        - 운영자 대기 시간 및 Wafer 교환 시간과 관련된 Risk Time 제거

3가지 MODE의 MACRO 기능 향상

1. Surface macro inspection        2. Edge macro inspection            3. Backside Macro inspection

Nikon's CFI60 optics Extra-Long Working Distance (ELWD) lens

 

High transfer stability

        - 높은 시스템 안전성과 고속의 반송 속도를 자랑하는 시스템

        - Wafer 손상을 방지

        - SEMI 표준 (S2-93A 및 S8-95 준수)을 준수하는 안전 설계를 사용

        - 자동화 및 전동 기능 제어 가능

        - 고해상도 카메라 시스템

        - Macro / Micro 결함 Image Capture

        - Probers 및 Auto-detection 불량 이미지 관찰

        - 쉬운 결과 보고 작성 가능

        - 최적 관찰 설정은, 대물 렌즈 또는 웨이퍼의 종류에 따라 미리 설정 가능

Combined System 200mm,300mm Wafer 전송 System

        - Lp 200mm Cassette Load    LP 300mm FOUP Load   

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