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Nikon Wafer Loader

OST-3100/3200

개  요

Wafer Inspection System OPTISTATION-3100/3200

- 8", 12" Wafer 대응

- Manual Stage & Auto Focus

- Wafer Auto Loading

- Thin Wafer & BOW Wafer 대응

- OPTISTATION-3100: 1 FOUP _ OPTISTATION-3200: 2 FOUP

특  징

• 300mm Wafer의 간단하고 빠른 수동 육안 검사

• MACRO / MICRO IMAGE분석에 최적화 된 Digital Camera System을 장착 가능

• R&D 결함 분석을 위한 Inline검사 System 분석 활용

New Optics

        - 니콘의 CFI60 광학과 선명하고 깨끗한 이미지를 생성

        - 높은 Contrast와 최소한의 Flare 현상.

        - 긴 작동거리(W.D)에 의한 구동범위 내에서 안전 웨이퍼 검사가 가능

        - Darkfield는 과거에 비해 비율이 3배 더 높으며 High Imaging을 보장

새롭게 디자인 된 DUV 현미경

        - 새로 설계된 DUV 현미경 모듈은 90nm의 미래 설계 규칙을 지원

Review inspection with ADC 

        - 최첨단 영상 처리 및 분석 기술은 정확한 결함 검출을 보장

        - 사용자 친화적인 소프트웨어는 쉽게 설치 및 운영이 가능

LOADER PORT 위치의 유연성

        - 2개의 Load Port는 다양한 공장 Layout과 300mm 공장 자동화 요구 사항 대응

        - 장비의 측면과 후면으로 변경 사용이 가능

고성능 조명, 3가지Mode의 Macro검사

        - Surface Macro Inspection, Edge Inspection, Backside Macro Inspection

        - 개발된 (WIL-100) 라인 (LIL-100) 조명 장치는 파장과 조명을 제공

        - 다양한 공정 결함을  검출하기 위해 개발

고화질 촬상 및 이미지 분석, 길이 측정 시스템

        - 자동화 및 전동 기능 제어 가능

        - 고해상도 카메라 시스템

        - Macro / Micro 결함 Image Capture

        - Probers 및 Auto-detection 불량 이미지 관찰

        - 쉬운 결과 보고 작성 가능

        - 최적 관찰 설정은, 대물 렌즈 또는 웨이퍼의 종류에 따라 미리 설정 가능

 

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